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electric electrical electronic差異
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什麼是靜電吸盤What is Electrostatic Chuck? - 龍欣科技股份 ...
(8) 可定義吸附區及非吸附區,非吸附區可以供其他功能使用。 (9) 可使用不同基底材質(如:不鏽鋼,鋁板,半導體晶圓,玻璃,合成塑膠)。
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