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CN103199036B - 集成调度系统的efem及其调度方法

同时将大气机械手、Load Port组、预对准模块这些模块的底层驱动嵌入到EFEM中，所以无需再进行设置开发即可实现调度 ... [0030] 图1为本发明第一实施例EFEM的总架构图。

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