穩定高速. 4 Port SMIF POD 對應之全自動傳送系統. 晶圓傳送固定方式,依客戶需求可選擇真空吸附或邊緣夾持方式; 內部微環境的潔淨度控制,採以CFD 流體分析驗證,並 ...
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