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PLC半導體設備SECS/GEM設計規劃與實務 - 1111進修網

SECS/GEM不只規範通訊標準，還包括設備行為及功能，更需要支援許多標準周邊建置，例如：EFEM、Loadport、Wafer ... -PLC驅動半導體設備標準週邊的架構與設計.

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