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EFEM・Sorter | 菲科半导体（张家港）有限公司

型号, TYK2102-2, TYK2102-3. 端口数, 2个端口, 3个端口. 运输对象, 300mm晶圆直径：Φ300±0.2mm 厚度：775μm. 作业模式, 300mm FOUP 25步(SEMI E47.1)

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