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tem eds 原理

加上試片漂浮效應在TEM中比較明顯，所以TEM只用EDS偵測特性表面分析儀器TEM ... 背向散射檢測器的工作原理與二次電子檢測器類似，因為它“讀取”了測試(STEM-EELS/EDS) ...

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