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C-3 電子能量損失能譜(EELS) – 同素異形體與試片厚度效應

在半導體元件的顯微結構中有多處純矽與二氧化矽相鄰的結構，EELS的成份映像技術是否可以區分它們? 圖C-46顯示純元素矽和二氧化矽的矽的分佈在EELS成份映像 ...

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