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NiSi(Pt)-NiSi2半导体结构中Pt 的定量 - Bruker

... 显示来自Pt 合金NiSi 薄膜外延生长的EDS 数据。NiSi 用于半导体器件（如MOSFET）的纳米尺寸金属化结构。 ... 由于Pt 能量边，EELS 很难量化这种材料Pt 的含量。

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