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真空泵浦設備的振動量測程序之探討

本文以半導體廠愛德華(Edwards)真空泵浦設備為例，作執行定期檢測標準作業程序的分析說明，使用振動頻譜分析儀器量測真空設備振動，對所量測真空泵浦設備作診斷分析， ...

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