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MST｜［SEM-EDX］エネルギー分散型X線分光法（SEM）

原理. EDXは電子線照射により発生する特性X線をエネルギーで分光し、検出します。特定X線のエネルギーは元素固有なので、試料を構成する元素の同定が行えます。

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