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能譜儀eds - 578sy

掃描電子顯微鏡能譜儀(EDS)原理. X射線能量色散譜分析方法是電子顯微技術最基本和一直使用的，具有成分分析功能的方法，通常稱為X射線能譜分析法，簡稱EDS或EDX方法。

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