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Focused Ion Beam 離子聚焦系統（顯微鏡） - 工六館213

主要的原理是利用鎵離子被加速成離子. 束，並聚焦於一非常小之區域。 ... SEM, TEM, STEM, AES, EDS Sample Preparation ... Ni – Mo Multilayer EDS Mapping.

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