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球面像差修正掃描穿透式電子顯微鏡

(7) X光能量散佈分析儀(EDS) : Si drift detector (SDD), Energy resolution 127eV。 ... 奈米尺寸之X光EDS能譜(B5~U92)，STEM包含EDS Point ID/Line Scan/Mapping。

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