SEI 解析度:1.0 nm(at 15kV)、 1.3 nm(at 1kV). 自動功能:對焦、像差修正、明亮、對比。 主要附件. EDS(化學元素定性、定量和分佈影像分析). BEI. 真空濺鍍Pt.
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