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ebr溶劑
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半導體的光刻工藝全過程,技術講解
矽片靜止時,滴膠、加速旋轉、甩膠、揮發溶劑(原光刻膠的溶劑約佔65~85% ... 出,並小心控制不要到達光刻膠有效區域;b、光學方法(Optical EBR)。
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