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噴嘴(光刻中用於光刻膠和各種有機溶劑的噴嘴) - 中文百科全書

（1）EBR（edge bead remove）噴嘴是指去邊溶劑噴嘴。有機溶劑從去邊噴嘴中傾斜向外噴在晶圓的邊緣，同時晶圓以一定的速度旋轉，清洗晶圓的邊緣。

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