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廢光阻劑回收設備之效益提升 - 台灣環境資源永續發展協會

溶劑 （Solvent）三種主要成分所混合而成。感光劑是一種可以吸收曝曬光源能. 量並產生反應之化學物質. ，此種反應可增加正型光阻樹脂在顯影劑中的溶解度或減少負型光阻 ...

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