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TWI645490B - 半導體製造設備用存取仲裁系統與用以使用及 ...

E84 訊號通常經由光學鏈傳輸，當對準於LP 203之上時，該光鏈接係與主動裝置（即OHT 207或近機台容器暫存系統205）對準。因此，參照圖4和5，通訊鏈407A-407n可為光學通訊鏈， ...

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