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What is SECS? - 翔麟資電有限公司

有鑑於此，2007年SEMI制定了一套SECS通訊協定，來負責設備間與控制中心的溝通，使得半導體廠的自動化有標準可以依循。SECS通訊協定包含了SECSⅠ與SECSⅡ， ...

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