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12吋晶圓廠的自動化趨勢:AMHS, FOUP

全自動化晶圓廠的概念已經有一段時間，隨著引入高生產能力的300mm製造技術，它亦更加接近現實。最終用戶與設備製造商、研發人員和業界組織機構緊密合作，通過技術開發 ...

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