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ESC- Electrostatic Chuck 静电吸盘 - 知乎专栏

ESC 利用电容两带电极板的库伦吸引原理制成。表面涂有绝缘层的ESC的主体部分为电容一侧电极， wafer 为电容的另一侧电极。库伦引力要大于wafer 背面用 ...

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