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半导体用静电吸盘是什么？陶瓷产品中的奢侈品！ - 粉体圈

成熟的静电吸盘产品目前仅有国外少数几家公司可以供应，如京瓷、NGK等，可以在京瓷的半导体领域产品中看到几种静电吸盘（ESC）常用材质分别为氧化铝陶瓷、 ...

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