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静电卡盘--西安.中威.新材料_半导体- 氧化铝 - 搜狐

静电卡盘（E-CHUCK）是一种适用于真空及等离子体工况环境的超洁净晶圆片承载体，它利用静电吸附原理进行超薄晶圆片的平整均匀夹持，是PVD、ETCH、离子 ...

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