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e chuck原理
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靜電盤的吸附原理
以Johnson-Rahbek所主導的靜電吸盤,是透過調整介電層的絕緣性,以少量通過的電流來吸附對象物。將內部電極加壓電壓後,電荷慢慢地往表面移動,產生虛擬電極。產生的虛擬 ...
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