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半導體＆ ETCH 知識，你能答對幾個？ - 吳俊逸的數位歷程檔

... 如380~420KHz ,13.56MHz,2.54GHz等. 何謂ESC (electrical static chuck). 答：利用靜電吸附的原理, 將Wafer 固定在極板(Substrate) 上.

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