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wafer chuck中文的評價費用和推薦，EDU.TW和網紅們這樣回答

在蝕刻晶圓生產過程中，以靜電式晶圓座(Electrostatic Chuck , ESC)將晶圓吸附於腔體內，其原理是利用靜電吸附力來固定晶圓，以外加電極及電壓來產生靜電吸附的功用， ...

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