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duv深紫外光微影技術
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https://books.google.com.tw/books?id=9DqVEAAAQBAJ&pg=PA31&lpg=PA31&dq=duv%E6%B7%B1%E7%B4%AB%E5%A4%96%E5%85%89%E5%BE%AE%E5%BD%B1%E6%8A%80%E8%A1%93&source=bl&ots=V202Bfyyc7&sig=ACfU3U3rUCM5eCu63pzPozp8eGFyWjIwUA&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwix7cHPztv_AhUaqFYBHW7LCkYQ6AF6BQiLAhAD
理財周刊 第1155期 2022/10/14 - 第 31 頁 - Google 圖書結果
... 技術也推進至七奈米。證達一四~二八奈米,被制裁的中頸進行突破,目前本土 DUV 設備已驗備及電子設計自動化( EDA )軟體等瓶中國也試圖在深紫外光( DUV )微影設製程。
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