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半導體製程設備技術 - 第 269 頁 - Google 圖書結果

而光學微影製程中,使用的光源種類如圖 5.16所示,較常使用為光源有兩大類:紫外光區(Ultraviolet Light, UV)的汞燈(Hg Lamp)及深紫外光區(Deep Ultraviolet Light, DUV) ...

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