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duv深紫外光微影技術
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定錨產業筆記
科技 產業趨勢領航者. ... 深紫外光(DUV)微影製程: 先在鍍上薄膜的矽晶圓表面,塗佈一層光阻劑,再用準分子雷射將光罩畫好的電路圖轉印到矽晶圓表面,最後用顯影劑將不 ...
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