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duv深紫外光微影技術
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https://www.worldjournal.com/wj/story/121480/7254625
彭博:荷蘭ASML對中晶片設備出口最快30日面臨新限制
... NXT:2000i、NXT:2050i及NXT:2100i等深紫外光(DUV)沉浸微影設備。艾司摩爾已不得出口最先進的極紫外光(EUV)沉浸微影設備給中國企業。
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