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ASML研發第二代EUV極紫外光刻機效能提升70% 2025年量產

今年，台積電、三星都會開始量產7nm EUV製程，現有的EUV光刻機亦差不多成熟了，雖然產量比起傳統的DUV深紫外光刻機還有所不如，不過已經能夠穩定量產 ...

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