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節能有成！EUV機台耗電量增10倍台積電靠「大數據」提高5 ...

台積電指出，極紫外光（EUV）技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵，但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影（DUV）機台的10倍以上。

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