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跨入16奈米世代一步到位 - 龍騰文化

國家奈米元件實驗室研發的創新技術，讓整個微影製程縮減為只需一個步驟就可以 ... 奈米的深紫外光（DUV）做為微影製程的曝光光源，搭配台積電微製像技術發展處處長 ...

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