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duv浸潤式
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荷兰半导体管制新规:ASML成熟DUV光刻机不受影响!
据报道,新的出口管制涉及最先进的浸入式深紫外光光刻机(DUV)设备,ASML 对此表示,新管制包括最先进的沉积和浸润式光刻机(immersion ...
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