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duv浸潤式
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https://www.21ic.com/a/952821.html
ASML回应荷兰半导体出口管制新规:涉及DUV光刻机 - 21IC
同时公司还表示“新的出口管制措施并不针对所有浸润式光刻系统,先进程度相对较低的浸润式光刻系统已能很好满足成熟制程为主的客户的需求。” 此前,荷兰 ...
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