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duv浸潤式
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https://udn.com/news/story/7241/7020031
荷蘭出口管制升級ASML聲明:DUV出口需要申請許可 - 聯合報
另外,聲明提到,關於政策針對「最先進」的DUV微影設備,ASML解讀是「關鍵浸潤式技術」定義是TWINSCAN NXT:2000i和之後更新的浸潤式微影系統.
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「duv浸潤式」
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浸潤式微影技術
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