合激發的深紫外光(DUV)準分子雷射光源,如氟化氪(KrF)產生的248 nm 波長和. 氟化氬(ArF)的193 nm 波長等 ... 目前最先進的OPL系統和浸潤式透鏡的示意圖如圖2 所示[7]。
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