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duv原理
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中芯国际采购DUV光刻机,对比11亿一台的EUV光刻机,区别 ...
相比DUV光刻机的光源,EUV光刻机光源的更短,故而折射率更大、能量更大。 upfile. 其次是光路系统的区别。 DUV光刻机的光路,主要利用光的折射原理, ...
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