目次 · 1 微影的類別 · 2 光阻劑組分 · 3 電子束曝光 · 4 化學放大光阻劑. 4.1 光致產酸劑 · 5 DNQ-Novolac 光阻劑 · 6 深紫外(DUV)光阻劑. 6.1 248nm 光阻劑; 6.2 193nm 光阻 ...
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