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同樣是造7納米晶元,為什麼EUV光刻機比DUV光刻機貴一倍?
這恐怕得從製造原理上說起,DUV其實就是指193nm波長的光刻機,分乾式和液浸式。基本上液浸式一次曝光可以搞定45-28的工藝,所以這個製程節點也是DUV光 ...
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