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duv原理
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引入EUV技术的6nm,才是真正的6nm - 科技
这么厉害的EUV,原理是什么? ... EUV相较于DUV,把193nm波长的短波紫外线替换成了13.5nm的“极紫外线”,在光刻精密图案方面自然更具优势,能够减少 ...
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