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duv原理
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國產光刻機即將破局!今年投產,90家企業聯合組隊加快芯片 ...
DUV 光刻機主要利用光的折射原理,在透鏡和晶圓之間通過採用不同的介質,來改變光刻性能。而EUV光刻機主要利用的是光的反射原理。
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