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duv原理
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国产光刻机即将破局!今年投产,90家企业联合组队加快芯片 ...
DUV 光刻机主要利用光的折射原理,在透镜和晶圆之间通过采用不同的介质,来改变光刻性能。而EUV光刻机主要利用的是光的反射原理。而且,因为光源的特殊性,其也需要在 ...
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