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美国部分解禁,中芯国际有救了? - OFweek电子工程网
DUV 光刻机与EUV 光刻机发光原理不同,DUV为准分子激光,光源的波长能达到193nm,一般只能做到25nm工艺,英特尔凭借双工作台模式做到了10nm(相当于中芯 ...
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