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duv原理
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中芯國際78億買來低端光刻機高階光刻機國產化還需多久?
然而從後續的官方迴應中,我們才得知,中芯國際購買的只是DUV光刻機,許多人 ... 在西方,EUV光刻機物理原理相關文章早在1980年左右就已發表,然而 ...
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