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duv原理
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duv和euv的区别 - 望花路东里
euv和duv区别:1、duv基本上只能做到25nm,而euv能满足10nm以下的晶圆权制造;2、duv主要利用光的折射原理,而euv利用的光的反射原理,内部必须为真空 ...
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「duv原理」
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duv光刻機原理
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