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duv原理
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https://inf.news/zh-tw/digital/8e1a0e942eb08fa4bee29a2d3ab975b7.html
三星和SK海力士都已實現,EUV DRAM 的壓力來到美光這邊?
從原理上說,光刻技術就是利用光化學反應原理和化學、物理刻蝕方法將掩模板上的圖案 ... 正如三星所言,從193nm波長的DUV光刻到13.5nm波長的EUV光刻,這是顯著的改善。
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