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duv原理
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同樣能造出7nm晶片,EUV光刻機對比DUV光刻機 - 日間新聞
首先,二者發光原理不同。 DUV光刻機光源為準分子鐳射,而EUV光刻機則是鐳射激發等離子來發射EUV光子。透過不同方式,二者發出的光源也不同。
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