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duv原理
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euv光源原理 - 07Nan
紫外光經過光罩後,利用各種光學原理將光束射在晶圓上,就可以在上面刻出精細的 ... EUV光源波長比目前DUV( 深紫外線微影)的光源波長短,約為15分之1,因此能使用於 ...
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