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duv原理
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什麼是EUV光刻機?為什麼大家都在追求它? - WONGCW 網誌
而光刻的工作原理,大家可以想像一下膠片照片的沖洗,掩膜版就相當於膠片,而光 ... 波長的EUV取代193nm的DUV光源,這樣也能大幅提升光刻機的分辨率。
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